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中國哪所大學有製造光刻機專業 瞭解一下

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中國哪所大學有製造光刻機專業 瞭解一下

1、基本上的理科大學都有這個專業,只不過大學不一樣,專業知識也不一樣。

2、光刻機屬於一個各學科集成的產品,泛泛而言,設計到光學、機械加工、電子電路、化學等多個學科知識。

3、光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System。

4、一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。

5、Photolithography(光刻) 意思是用光來製作一個圖形(工藝)。在硅片表面勻膠,然後將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“複製”到硅片上的過程。