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光刻機是什麼意思 光刻機的作用

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光刻機是什麼意思 光刻機的作用

1、光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到硅片上。

2、生產集成電路的簡要步驟:利用模版去除晶圓表面的保護膜。將晶圓浸泡在腐化劑中,失去保護膜的部分被腐蝕掉後形成電路。用純水洗淨殘留在晶圓表面的雜質。

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